等静压石墨_细颗粒特种 _3D热弯玻璃 _ 高性能石墨_ 青岛华锦新材
TaC涂层专用特种石墨基材
概况

华锦新材公司生产的TaC涂层专用特种石墨基材,能与TaC涂层的热膨胀在不同温度下(20-200℃:5.9*10-6/K;20-600℃:6.3*10-6/K;20-1600℃:7.1*10-6/K)高度匹配,完美解决了多次升降温引起的涂层开裂和剥落等问题,有效提高工件的服役时间。


产品优势

相较SiC涂层石墨,新一代的TaC涂层石墨的高温耐腐蚀性、服役时间以及抑制杂原子迁移能力明显提升,使用温度由900-1500℃扩展到最高2400℃,应用场景由半导体单晶的同质/异质外延扩展到半导体晶圆生长(籽晶托架、导流筒、石墨坩埚、导流环)等领域。涂层材料的变革对石墨基材的热膨胀系数、电学与化学稳定性、表面粗糙度、机械强度及热导率提出了更高要求。

在高均匀温度场中的处理温度超过2400℃,华锦新材碳化钽涂层石墨基材在电学与化学稳定性大幅度提高,材料均质性明显改善,最大密度差≤0.01g/cm3,电阻率≤10μΩm。

公司产品原料为超细颗粒,热处理过程中,颗粒通过熔并一体化烧结,实现高度致密化,且平均密度值达到1.92g/cm3,平均孔径≤0.4μm,开孔率≤12%,相比传统石墨,表面粗糙度与加工性能明显提升。公司产品制备工艺精确控制,微观结构致密均匀、内部缺陷明显降低,承受的极限外应力大幅度提高,使批量化产品的抗折强度≥80MPa,优级品抗折强度≥85MPa。

公司产品采用超长时间热处理工艺,晶体结构完善,La,Lc值优化,平均石墨化度≥80%,热导率≥145W/m*K。


性能参数
牌号 体积密度(g/cm³) 热膨胀系数(10-6/K) 电阻率(μΩm) 平均孔径(μm) 总孔隙率(%) 抗弯强度(MPa) 热导率(W/m*K)
HJ-Ta-1 1.93

6.3(20~600℃)

7.1(1600℃)

10-11 ≤0.4 <12 80-85 ≥120
HJ-Ta-2 1.95

6.3(20~600℃)

7.1(1600℃)

10 ≤0.3 <11 85-90 ≥145


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碳化钽涂层专用石墨解决方案.pdf

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