SiC长晶炉专用特种石墨热场材料
概况
华锦新材生产的长晶炉用石墨加热器、石墨坩埚、石墨导流环等专用石墨制品,可以满足不同部件的使用要求。
产品优势
高密度、高强度、微细结构、材料均质性、批次稳定性、优异的抗硅蒸气腐蚀性。
特种石墨材料在碳化硅长晶炉中扮演着关键角色。
1、它应具有出色的耐高温性能,能够在长晶过程中承受极高的温度而保持稳定,确保长晶环境的可靠性。
2、其应具有较高的热导率,可以有效地传导热量,有助于维持炉内温度的均匀性,这对晶体生长的质量和一致性至关重要。
3、长晶炉用特征石墨材料还具有良好的化学稳定性,不易与其他物质发生反应,能在复杂的长晶条件下保持其性能。
4、它的机械强度较高,能够承受长晶炉运行过程中的各种应力和压力,保证设备的长期稳定运行。
在碳化硅长晶中,优质的特种石墨材料的使用有助于提高晶体的生长效率和良率,为碳化硅产业的发展提供了重要的支撑。
性能参数
牌号 | 体积密度(g/cm³) | 热导率W/(m*k) | 孔径(μm) | 孔隙率(%) | 抗弯强度(MPa) | 抗压强度(MPa) | 灰分ppm | 灰分ppm(纯化) |
HJ-1 | ≥1.90 | ≥120 | 0.3~0.6 | ≤12.8 | ≥80 | ≥100 | ≤150 | ≤3 |
HJ-1 | ≥1.93 | ≥120 | 0.3~0.6 | ≤12.8 | ≥90 | ≥110 | ≤150 | ≤3 |
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